Tokyo Electron MC-31139 — Описание, характеристики и совместимость

Общее описание

Tokyo Electron MC-31139 — это прецизионный керамический компонент (деталь камеры) для оборудования плазмохимического осаждения и травления Tokyo Electron. Является частью внутренней оснастки реакционной камеры и обеспечивает защиту внутренних узлов от агрессивной плазменной среды, равномерное распределение газовых потоков и thermal management внутри камеры.

Применяется преимущественно в установках серий TEL CLEAN TRACK, TEL Alpha, TEL UNITY и родственных платформах, используемых в полупроводниковом производстве.

Технические характеристики

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | MC-31139 | | Материал | Керамика (Al₂O₃ / Y₂O₃ / AlN — в зависимости от модификации) | | Тип детали | Внутренний компонент камеры / защитный элемент | | Рабочая температура | до 400–600 °C | | Совместимость с плазмой | Устойчив к F-, Cl-, O-плазме | | Чистота обработки | Соответствует стандартам cleanroom Class 1–10 | | Диэлектрические свойства | Высокая диэлектрическая прочность | | Термостойкость | Высокая |

Точные значения (толщина, геометрия, пористость) предоставляются по запросу у TEL или в технической документации конкретной установки.

Перечень парт-номеров (связанные/взаимозаменяемые позиции)

• MC-31139 — базовый парт-номер
• MC-31139-A — модификация
• MC-31139-B — модификация с покрытием
• MC-32912 — совместимая деталь (аналог для других версий камеры)
• MC-31988 — родственная позиция серии

⚠️ Парт-номера могут иметь суффиксы (R1, R2), указывающие на ревизию. Точный список следует уточнять в Parts Catalog TEL.

Совместимые модели установок

CLEAN TRACK серия (coater/developer):

• CLEAN TRACK ACT 8
• CLEAN TRACK ACT 12
• CLEAN TRACK LITHIUS
• CLEAN TRACK LITHIUS Pro / Pro V / Pro Z

Etch / Deposition системы:

• TEL UNITY Me
• TEL UNITY II
• TEL Alpha
• TEL Tactras
• TEL Telius

Прочие платформы:

• TEL EcoEtcher

Рекомендации по применению

• Установка требует квалифицированного демонтажа/монтажа в чистых условиях.
• При заказе указывайте полный парт-номер, ревизию и серийный номер установки — TEL часто выпускает ревизии под конкретные линии.
• Для получения чертежей и спецификаций необходимо обращаться в сервисный центр Tokyo Electron или к авторизованным дистрибьюторам запчастей.

Примечание: детальные данные (габаритные размеры, масса, чертежи, материал точки) являются proprietary-информацией TEL и в открытых источниках не публикуются. Для точной идентификации рекомендую запросить TEL Parts Database или обратиться к поставщику вторичного рынка запчастей с указанием дополнительных фото и маркировки детали.