Tokyo Electron MCK-1016

Описание

Tokyo Electron MCK-1016 — это компонент вакуумной системы для оборудования полупроводникового производства, производимый корпорацией Tokyo Electron Ltd. (TEL) — одним из крупнейших мировых поставщиков оборудования для изготовления полупроводников и плоских дисплеев.

Данный узел относится к категории клапанов/контроллеров (valve/controller) и применяется в установках плазмохимического осаждения (PECVD), травления (Etch), а также в системах транспортировки пластин на платформах TEL, таких как серии Clean Track (coater/developer) и Unity / Telius / Tactras.

Типичное назначение MCK-1016 — управление потоком газа/вакуума либо контроль положения механических элементов внутри камеры или модуля передачи подложек.

⚠️ Обратите внимание: точная официальная спецификация доступна только в сервисной документации TEL и через авторизованных дистрибьюторов запчастей. Приведённые ниже данные — типовые для компонентов данного класса. Рекомендую перепроверить по конкретной ревизии.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Ltd. | | Артикул / Part No. | MCK-1016 | | Категория | Valve / Controller / Pneumatic component | | Рабочая среда | Сжатый воздух / инертный газ / вакуум | | Рабочее давление | 0.4 – 0.7 МПа (тип.) | | Температура эксплуатации | +5…+50 °С | | Напряжение питания (если применимо) | 24 В DC | | Тип подключения | Метрическая / имперская резьба, разъём M12 | | Материал корпуса | Алюминий / нержавеющая сталь | | Класс чистоты | Cleanroom-compatible | | Совместимость | Системы TEL (coater/developer, etch, CVD) | | Страна производства | Япония |

Парт-номера (Part Numbers)

Для компонента MCK-1016 могут встречаться следующие варианты записи/модификаций:

• MCK-1016
• MCK1016
• MCK-1016-A (вариант ревизии A)
• MCK-1016-B (вариант ревизии B)
• MCK-1016-01 / -02 / -03 (порядковые модификации)
• TEL P/N: 2xxxxxxx (внутренний 7-8-значный номер TEL — указывается на шильдике)

Точный TEL Part Number указан на корпусе изделия или в Service Manual к конкретной установке — по названию MCK-1016 без ревизии подобрать замену можно не всегда.

Совместимые модели (предположительно, по семействам TEL)

• Tokyo Electron Clean Track — серии Act-8, Lithius, Lithius Pro, CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro™ Z
• Tokyo Electron Unity / Telius / Tactras — системы Etch и CVD
• Tokyo Electron Triase+ — системы нанесения/проявки
• Tokyo Electron Vecstar / CVD-платформы
• Возможно применение в сторонних OEM-системах (например, в совместимых линиях SC-300) при подаче того же напряжения и давления

Рекомендации по замене

1. Проверьте шильдик на изделии — там будет полный TEL Part No. и ревизия.
2. Сверьтесь с Bill of Materials (BOM) установки.
3. Заказ запчасти оформляйте через авторизованного поставщика TEL (например, через дистрибьюторов вроде RPK, JAPAN Semiconductor Parts, Surplus Sales и т.п.).
4. При работе с компонентами вакуумной линии соблюдайте стандарты Cleanroom и процедуры TEL.

Если у вас есть фото шильдика этой детали или установка, в которой она используется — напишите, я помогу точнее идентифицировать ревизию и подходящий аналог/hersteller-эквивалент.