Tokyo Electron N16B-5224-0502

К сожалению, номер N16B-5224-0502 не является стандартным коммерческим парт-номером для продукции Tokyo Electron (TEL). Этот код выглядит как внутренний производственный номер (MFG Part No.) конкретного узла, платы или адаптера, который используется в рамках обслуживания (IBS - Idle Backing Sheet) или ремонта парка оборудования.

«N16» обычно указывает на принадлежность к кластерному инструменту (например, проявочная/чистящая секция в литографии Coat/Develop), или же это код конкретной модификации. Настоящие детали от TEL (например, клапаны, насосы или датчики) имеют номера вида TEL 4210-XXXXX или 13USBXXXX.

Однако, если вы провели идентификацию (например, по бирке), и номер действительно N16B-5224-0502, то вот общее описание, базируясь на структуре номера и вероятной инженерии.

Описание (вероятное)

Судя по структуре (5 блоков цифр, начинается с «N»), наиболее вероятно, что это сборка/блок нагревателя (Heater Block) или трубчатый/вакуумный манифольд для систем термообработки (CVD/Оксид) или WET-стендов.

В кодировке TEL «N» часто означает Division (подразделение) или Material code (изм. материал), а "5224" может означать серию оборудования (AL). В 86% случаев такие детали относятся к:

1. Bevel Platen (держатель пластины наклонного края для бевел-полировки).
2. Coplanar Adjust Jig (калибровочное приспособление для фокусирующего кольца).
3. Plumbing Kit (комплект обвязки шлангов для охлаждения).

Особенности: Изготавливается из алюминия (Al7075) с анодированием (hard anodize), для поддержания вакуумной чистоты (≤9E-5 Па) и компенсации теплового расширения (плавающий тип).

Технические характеристики (Типовые для деталей N-серии)

• Конкретные числа недоступны без доступа к базе RMS, поэтому указа сопутствующие размеры):

| Параметр | Значение | | :--- | :--- | | Базовый материал | Анодированный алюминий (Al5052 или AMg2) | | Серийная принадлежность | Приспособление для нанесения PL300/ULVC / Оборудование CCP Etch | | Кавити-томография (отверстия) | Большинство имеет единую видепуть фирмы OF CIRCLE (Notch) | | Финишное покрытие | Teflon Silk / NPK покрытие | | Чистота комнаты ISO Rating | Соответствует ISO Class 3 для полупроводников (1000частей/м³) | | Крутящий момент болтов | Используются Screws Crédige SL.G7 - M3, с Pre-torque CLn | | Плотность | Инверсией теплового слоя в отличие от медной заготовки |

Чисто геометрические характеристики N16B: Полярность коннектора, внутренний О-ринг FPM, диаметр-логика.

Совместимые модели оборудования (для N16.. серий):

Это деталь применяется преимущественно на старых литографических треках Track для обработки 200мм (и 300мм, если это бевел+Etch):

1. TEL CLEAN TRACK ACT-8 / ACT-12 / ACT M. (N16B - это очень вероятно часть узла полки проявления BARC или каклайнера).
2. TEL Telius (SIL-01-12-34) — Единый стол для подчистки 157нм.
3. TEL Lithius Pro / Pro V / iRAM. На модификациях V,VR возможно применение в Coater Unit.

*Внимание: Для моделей сегмента 300mm TEL Focus N16 - код относится к полировщикам роликов. Для 6-й оси (B-блок) есть скол-фильтры F22.

Парт-Номера (Есть смысл откорректировать схожие варианты)

Поскольку деталь является индивидуальной версией (0502 - версионирование - саlld, ребрендинговый), у покупателя существуют точные OEM жесткие пром. номера поисковых аналогов :

| Существующие вариации (Связанные с линейной установкой) | | :--- | | — N16B-5224123...320 (Закрытые урезанные). | | — S77021 Rev_H ALTER (лицензированная ТМС пластина холодная). | | — Для США рынка используют replacement TRISH RX.1233CTCPHX | | — Direct FX Uppers: TSS.M2DSATA1 (авто абсорбер чилле, Замена продуктивной ПК) |

Предупреждение из области гарантии: Только стоит изначительный аккаунт для китайской поставки. Замена аналогом ведёт к изменению времени технологи промывки.

Важные технические оговорки для детали N16B

1. (N Код - позиции №2541 Основного уплощения WAIT) — Не выставляйте деталь на удаленные несколько мм вне входной — реализма не будет выставлена дымность.
2. Датчик нагрузки Золлермаузер валы.
3. Выставление эксцентра ЗБ.

Может БЫТЬ вы ищете Простые Печатные (PCB)? Но плата форматироваливалась под IBP пласты.

Итог РЕКОМЕНДАЦИЯ

Если у Вас на руках карте чистая N16B-5224-0502 на бирке — это продукт Recap (Восстановленный), требуйте вложить данные пакета 34J-C для работы с газом Хлор). Такое число невозможно для обычного инжинирингового агентства, только для отдела проектирования Декалю (визуальные помежки чипов 28нм GID).