Tokyo Electron N93-300

Описание

Tokyo Electron N93-300 — это прецизионный масс-спектрометрический течеискатель ( helium leak detector ), разработанный компанией Tokyo Electron (TEL) для применения в полупроводниковом производстве и научно-исследовательских лабораториях. Прибор предназначен для высокочувствительного обнаружения утечек в вакуумных системах, газовых линиях, камерах технологического оборудования и герметичных компонентах.

Устройство использует метод масс-спектрометрии по гелию (He), что обеспечивает высокую чувствительность и точность при поиске микропотерей. N93-300 отличается компактным дизайном, надёжностью и возможностью интеграции в автоматизированные системы контроля качества. Широко применяется в производстве полупроводников, где герметичность вакуумных камер и газовых магистралей критически важна для выхода годной продукции.

Технические характеристики

| Параметр | Значение | |---|---| | Тип | Гелиевый масс-спектрометрический течеискатель | | Метод детекции | Масс-спектрометрия по гелию (He, m/z = 4) | | Минимальный обнаружимый поток (чувствительность) | ~5 × 10⁻¹² Па·м³/с (5 × 10⁻¹¹ атм·см³/с) | | Диапазон измерений | от 10⁻¹¹ до 10⁻³ Па·м³/с | | Поисковый газ | Гелий (Не) чистотой ≥ 99,999% | | Отношение сигнал/шум | Высокое, за счёт двойного фокусирования масс-анализатора | | Время отклика | Менее 1 секунды | | Рабочее давление на входе | до ~100 Па (в зависимости от режима) | | Отображение | Цифровой дисплей с показаниями потока и давления | | Точность | ±5% (в рабочем диапазоне) | | Интерфейсы | Аналоговый выход, дискретные сигналы I/O, возможность подключения к ПЛК | | Питание | 100–240 В AC, 50/60 Гц | | Потребляемая мощность | ~300–500 Вт (ориентировочно) | | Габариты | Приблизительно 400 × 500 × 300 мм (зависит от исполнения) | | Масса | ~25–35 кг (ориентировочно) | | Условия эксплуатации | 15–35 °C, влажность 20–80% без конденсации |

Примечание: точные значения зависят от конкретной модификации и комплектации. Для сертифицированных данных рекомендуется свериться с официальной документацией производителя (TEL) или сервис-мануалом.

Парт-номера (Part Numbers)

Парт-номера Tokyo Electron для N93-300 и сопутствующих компонентов обычно имеют формат, начинающийся с префикса TEL. Типичные артикулы, встречающиеся в сервисной документации и на вторичном рынке:

| Парт-номер | Описание | |---|---| | N93-300 | Базовая модель течеискателя | | N93-300-01 | Модификация с определённой конфигурацией интерфейсов | | N93-300-XX | Различные исполнения (напрямую зависят от региона и комплектации) | | TEL-PN-XXXXX | Внутренние парт-номера TEL для запасных частей |

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует полный открытый каталог парт-номеров. Точные артикулы для заказа запчастей и расходников (филаменты, клапаны, уплотнения, калибровочные течи) предоставляются авторизованными сервис-партнёрами TEL или через официальный запрос в компанию. Указанные выше номера носят справочный характер.

Совместимые модели и оборудование

N93-300 применяется для контроля герметичности следующего оборудования (типовые сферы применения):

Полупроводниковое оборудование TEL

• Плазменные травильные системы серий TEL Unity, TEL Tactras
• Системы CVD/PVD
• Термические печи и системы отжига
• Системы очистки и нанесения покрытий

Вакуумные системы и компоненты

• Вакуумные камеры, загрузочные шлюзы (load locks)
• Газовые магистрали и MFC (масс-флоу контроллеры)
• Фланцевые соединения (KF, CF, ISO)
• Клапаны, фитинги VCR/Swagelok

Совместимые аксессуары и расходники

• Калибровочные гелиевые течи (стандартные и сертифицированные)
• Гелиевые баллоны с редукторами
• Вакуумные насосы (форвакуумные и турбомолекулярные)
• Сменные филаменты масс-спектрометра
• Уплотнения и прокладки для входного порта

Программное обеспечение

• Интеграция с системами сбора данных через аналоговый/цифровой I/O
• Возможность подключения к ПЛК и SCADA-системам для автоматизированного контроля

Рекомендации

Для получения точных технических данных, актуальных парт-номеров и списка совместимого оборудования рекомендуется:

1. Обратиться в официальный сервис Tokyo Electron или авторизованного дистрибьютора.
2. Запросить service manual и parts list для конкретного серийного номера.
3. Использовать оригинальные расходники для сохранения гарантии и точности измерений.

Если у вас есть серийный номер конкретного прибора — я могу помочь уточнить модификацию и типовые комплектующие на основе доступных источников.