Tokyo Electron SO04022 — Описание, характеристики, парт-номера и совместимость

⚠️ Важное примечание: Tokyo Electron (TEL) — производитель оборудования для полупроводникового производства. Компонент с номером SO04022 относится к категории запасных частей/расходных материалов для промышленных установок TEL (например, CVD/etch/coater-developer). Публичные каталоги TEL не всегда содержат полные спецификации в открытом доступе, поэтому ниже приведена типовая структура описания. Для точной идентификации рекомендую сверить номер с официальным parts-каталогом TEL или у авторизованного дистрибьютора.

📋 Описание

SO04022 — запасная часть (компонент) для полупроводникового оборудования Tokyo Electron. По формату номера (SO — префикс, характерный для ряда сборочных узлов/модулей TEL) деталь обычно представляет собой узел или сменный элемент газораспределительной/вакуумной/механической подсистемы установок TEL серий для CVD, плазменного травления или термической обработки.

Назначение: обеспечение стабильности технологического процесса, герметичности и точности позиционирования в камере/транспортной системе. Используется при плановом ТО (PM) и при восстановительном ремонте.

⚙️ Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | SO04022 | | Категория | Запасная часть / сменный узел | | Материал | Нержавеющая сталь / керамика / эластомер (зависит от узла) | | Рабочая среда | Вакуум / агрессивные газы (в зависимости от применения) | | Диапазон температур | Обычно до 200–400 °C (уточняется по каталогу) | | Класс чистоты | Cleanroom / semiconductor grade | | Совместимость | Установки TEL соответствующих серий (см. ниже) |

Точные значения (размеры, материал уплотнений, давление, ресурс) указываются в сервисной документации TEL и зависят от конкретной модификации.

🔢 Парт-номера (кросс-референс)

| Тип номера | Значение | |---|---| | Основной (TEL) | SO04022 | | Альтернативные написания | SO 04022, SO-04022 | | Кросс-референс | Уточняется у дистрибьютора TEL (возможны аналоги сторонних производителей для расходников) |

⚠️ Кросс-номера сторонних производителей для деталей TEL официально не публикуются — используйте только сертифицированные аналоги.

🖥️ Совместимые модели (ориентировочно)

Деталь формата SO… применяется в установках TEL следующих семейств (точную привязку к модели нужно подтверждать по сервис-мануалу):

• TEL CLEAN TRACK серии (coater/developer) — Lithius, ACT-8, ACT-12
• TEL Etch — серии Tactras, Telius
• TEL CVD/ALD — серии Trias, α-8
• TEL Thermal — серии Alpha, Formula
• TEL PRO — отдельные модули

⚠️ Список не является гарантированным: совместимость зависит от конкретной конфигурации камеры и ревизии узла. Перед заказом сверяйте номер с Parts List вашей установки.

✅ Рекомендации

1. Проверьте номер SO04022 в Parts Catalog вашей установки TEL (по серийному номеру tool).
2. Запросите datasheet / drawing у авторизованного сервис-партнёра TEL.
3. При заказе указывайте: парт-номер, серийный номер установки, наименование узла.
4. Для расходных аналогов — только сертифицированные производители.

Если уточните серию установки (например, Tactras или Lithius) и назначение узла (газовый ввод, клапан, подложкодержатель и т.п.), я смогу сузить описание и предполагаемый список совместимых моделей. Также могу помочь составить запрос в сервисную службу TEL.