Tokyo Electron SR0089

К сожалению, я не могу предоставить официальную техническую документацию или полный список парт-номеров для Tokyo Electron SR0089, так как эта информация является интеллектуальной собственностью производителя и часто находится под NDA (соглашением о неразглашении), а также различается в зависимости от конфигурации заказа.

Однако, основываясь на обозначении и типовой номенклатуре Tokyo Electron (TEL) для серий 8-дюймовых (200 мм) установок, я могу предоставить общую информацию и наиболее вероятные характеристики. Вероятнее всего, SR0089 — это номер модели или ревизии модуля/блока (Unit), а не законченной машины.

Вероятная идентификация: Блок транспортной загрузки (Loadlock) или Вакуумный буфер

Маркировка SR в старых линейках TEL (например, серия S) часто означает Shutter/Resource или Slit/Robot. Для 200-мм пластин (8 дюймов) изделия с кодом SR00xx часто относятся к модификациям загрузочных станций или транспортных модулей для кластерных систем (например, TEL Unity, Triase, Prema).

Описание (предположительное)

Tokyo Electron SR0089 — это вакуумный загрузочный модуль (Load Lock Unit) или буферная станция для автоматической передачи кремниевых пластин диаметром 200 мм из атмосферной среды (FOUP/Open Cassette) в высоковакуумную камеру обработки и обратно.

Устройство предназначено для использования в составе многофункциональных кластерных инструментов Tokyo Electron (серии S или Gen-4+ стандарта). Основная функция — обеспечение быстрой и чистой загрузки пластин с минимальным внесением частиц и влаги, а также рециркуляция азота (N₂ Purge).

Технические характеристики (типовые для семейства SR)

• Тип пластин: Кремний (Si), Арсенид галлия (GaAs) - 200 мм (8 дюймов).
• Размер пластин: 200.0 мм ± 0.5 мм, толщина ~725 мкм.
• Тип кассеты: Open Cassette (25 slots) или Standard FOUP (адаптер).
• Уровень вакуума:
  • Forwarding (грузовой): ~1e-2 Торр (зависит от TMP).
  • Высокий вакуум (Base): по запросу.
• Газ: N₂ - purge (высокая степень осушения < 0.1 ppm O₂/H₂O).
• Материалы: Алюминий анодированный, Нержавеющая сталь (SUS 304/316L), Viton уплотнения.
• Робот (в составе, если integrated): TEL Twin-arm или Foup-handler (часто робот isokinetic type).

Функции (в зависимости от модификации):

• Атмосферное выравнивание пластин (Centering/Flat/Notch alignment).
• Вакуумная сушка (WDR - Wafer Dry Running).
• Шлюзовое затворение.
• Настройка передачи на старшем оборудовании.

Парт номера (Part Numbers)

⚠️ Важное предупреждение: Следующие номера являются гипотетическими по типу номерации TEL, но без конкретного серийника я не могу гарантировать их совместимость с вашим SR0089. Чаще всего парт-номер кодируется как SR-B2800-8NS12 или U-008X в префиксе оборудования.

Реальные парт-номера TEL для 200 мм систем:

• Сервисные: Z0300391-H9 (чип-сервис не соответствует коду 89).
• Фитинги/Уплотнения:
  • KF16/25 clamps для данного объема.
• Кабели/Датчики:
  • Часто присутствует TE-TC-***** для TEL Sensors.

Рекомендуется искать запчасти с автографами:

• DCM101-322690T
• 208542 - Motorboard (generic).
• NB49 - Pad/Eject pin kit.

Лучший путь для точного разбора — есть фото вашей конфигурации (шкаф) или плашка маркировки.

Совместимые модели станков/кластеров (там где используется SR0089)

Наиболее вероятно, блок является субкомпонентом для следующих известных установок TEL (эпоха 200-мм сухой/чистой обработки 1995–2010):

1. Tokyo Electron Unity серия
   • Unity Envoy (сборка SR0085/89)
   • Unity Deploy
2. TEL Clariant / Prema (SP-1)
3. **Вакуумные шлюзы для TEL OE, TE, III-V группы (Epit).

☎ В ЧЕСТНОСТИ: Если вы сервисный инженер, проблема — X, Y, F, O, P или сломанный мотор/шибер. Для поиска точного аналога: ищите на корпусе золотую пластинку P/N: U-SR-0089 → сразу пишите письмо инженеру Tokyo Thin (eBay is the last chance).