Tokyo Electron SVA004A-1-S

Отличный выбор. Tokyo Electron SVA004A-1-S — это классический и очень популярный бокс для переноса и хранения кремниевых пластин (wafer cassette), широко используемый в полупроводниковом производстве.

Описание

Tokyo Electron SVA004A-1-S — это стандартизированный пластиковый бокс (кассета, лоток) для безопасного перемещения и хранения 200-мм (8-дюймовых) кремниевых пластин. Он является ключевым компонентом системы автоматизированного переноса пластин в производственном оборудовании.

• Назначение: Предназначен для размещения 25 кремниевых пластин стандартной толщины (примерно 725 мкм) с промежутком 6,35 мм (1/4 дюйма).
• Конструкция: Изготавливается из высококачественного антистатического пластика (часто PFA, PP или аналогичный), устойчивого к химическим загрязнениям и чисткам. Имеет эргономичную ручку для переноски, четкую маркировку и конструктивные элементы (пазы, выступы) для точного позиционирования в оборудовании и стеках для хранения.
• Применение: Используется на различных этапах технологического процесса: от литографии и травления до нанесения тонких пленок и очистки. Совместим с большинством производственных инструментов для 200 мм пластин.

Технические характеристики

| Параметр | Значение / Описание | | :--- | :--- | | Диаметр пластин | 200 мм (8 дюймов) | | Количество слотов | 25 | | Шаг слотов (расстояние между пластинами) | 6,35 мм (0,25 дюйма) | | Материал | Антистатический пластик (высокочистый, химически стойкий, например, PFA) | | Цвет | Стандартный — полупрозрачный бежевый/коричневый (amber). Могут быть варианты. | | Совместимость | SEMI Standard (стандарт SEMI E1.9, E15.1, E19.5 и др. для 200 мм) | | Основная функция | Перенос и хранение кремниевых пластин в условиях чистых комнат |

Парт-номера и альтернативные обозначения

Номер SVA004A-1-S является базовым парт-номером Tokyo Electron (TEL). В зависимости от региона, поставщика или специфических требований к материалу/цвету, могут встречаться его вариации или эквиваленты:

• SVA004A-1-S (основной номер)
• SVA004A1S (написание без дефисов)
• 200mm FOUP / Cassette (общее название, но требует уточнения по стандарту TEL)
• Иногда в заказах может указываться как TEL SVA004A-1-S или Tokyo Electron Cassette 200mm 25 slots.

Важно: Боксы могут иметь небольшие модификации (например, материал ручки, маркировка RFID). Рекомендуется использовать точный номер или иметь образец для проверки физической совместимости.

Совместимые модели и оборудование

Бокс SVA004A-1-S совместим с огромным парком технологического оборудования для 200 мм фабрик. Он работает с:

1. Оборудованием Tokyo Electron (TEL):

   • Травление: Серии Unity, Telius и др.
   • Нанесение покрытий/Литография: Серии CLEAN TRACK (например, ACT 8, LITHIUS).
   • Очистка: Модули и станции очистки.

2. Оборудованием других ведущих производителей (использующих стандартный интерфейс SEMI для 200 мм):

   • Applied Materials (Centura, Endura и многие другие 200-мм модули)
   • Lam Research (серии 200 мм для травления и осаждения)
   • ASML (сканеры для 200 мм)
   • KLA-Tencor (инструменты метрологии и инспекции)
   • Hitachi High-Tech, Nikon и многие другие.

3. Вспомогательное оборудование:

   • Автоматизированные системы переноса пластин (AMHS, AGV, OHT)
   • Станции загрузки/разгрузки (Load Port)
   • Стеки и тележки для хранения и транспортировки (например, от Entegris или Miraial)
   • Оборудование для мойки и сушки кассет.

Ключевое условие совместимости: Оборудование должно быть рассчитано на 200-мм пластины и использовать стандартные кассеты SEMI (а не специализированные боксы типа FOUP для 300 мм). SVA004A-1-S является отраслевым стандартом де-факто для 200 мм индустрии.

Рекомендация: При заказе для замены в конкретном инструменте всегда сверяйте физический образец и номер на старом боксе. Для интеграции в новую линию необходимо проверить спецификации на механический интерфейс Load Port'а оборудования.