Tokyo Electron TAB114-1/I02-LF

Описание

TAB114-1/I02-LF — это компонент (деталь) для оборудования Tokyo Electron (TEL), используемый в полупроводниковом производстве. Как правило, данная позиция относится к категории быстроизнашиваемых/сменных частей (расходных материалов) для плазменных и CVD/etch систем TEL.

Важное примечание: Полная публичная документация по конкретным парт-номерам и внутренней спецификации TEL ограничена — компания не публикует открытые каталоги запчастей. Приведённая ниже информация является обобщённой и требует подтверждения у официального поставщика/дистрибьютора TEL или в сервисной документации к вашей конкретной установке.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Тип детали | Сменный компонент/расходная часть камеры | | Обозначение | TAB114-1/I02-LF | | Суффикс "LF" | Обычно обозначает Lead-Free (без свинца) / соответствие RoHS | | Материал | Зависит от узла (керамика, кварц, алюминий с покрытием и т.п.) | | Назначение | Устанавливается в камере обработки/газораспределения/системе подачи | | Условия эксплуатации | Вакуум, плазма, агрессивные газы (в зависимости от узла) |

Точные размеры, допуски и материал необходимо уточнять по сервис-мануалу конкретной платформы.

Парт-номера

• TAB114-1/I02-LF — основное обозначение
• Возможные варианты/аналоги в каталогах поставщиков: TAB114-1, TAB114-I02-LF, TAB114-1 I02 LF
• Рекомендуется сверять по полному номеру с чертежом/упаковкой и уточнять у поставщика (часто встречаются ревизии I01/I02/I03)

Совместимые модели

Как правило, детали с индексом TAB применяются в платформах Tokyo Electron серий:

• TEL Unity / Unity II / Unity IIe (плазменные CVD/etch)
• TEL Trikon (например, Omega, Sirius)
• TEL Telius / Tactras (в зависимости от узла)
• TEL Indio / EX (в зависимости от конфигурации)

⚠️ Совместимость сильно зависит от конкретной камеры и ревизии. Перед заказом обязательно:

1. Сверьте номер с чертежом узла в сервис-мануале вашей установки.
2. Запросите у поставщика подтверждение совместимости (BOM/ECN).
3. Уточните ревизию (I02 vs I01/I03) — они могут быть не взаимозаменяемы.

Если вы укажете конкретную платформу TEL (например, Unity IIe или Trikon Omega) и узел, можно сузить список совместимых моделей и парт-номеров.