Tokyo Electron TKB2162 — Описание и характеристики

Описание

Tokyo Electron TKB2162 — это высокоточный компонент для полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL), одного из мировых лидеров в области производства оборудования для микроэлектроники.

Данный компонент относится к категории запасных частей и расходных элементов для установок плазмохимического осаждения (PECVD), травления и других процессов производства полупроводниковых пластин. Tokyo Electron традиционно использует собственную систему артикулов для компонентов своих установок серий Tactras, Telius, Clean Track, UNITY и других платформ.

⚠️ Важно: TKB2162 — это внутренний парт-номер TEL. Точная спецификация компонента (что именно это — клапан, датчик, форсунка, уплотнение или электронный модуль) зависит от контекста применения. Рекомендуется уточнять у официального дистрибьютора TEL или в сервисной документации конкретной установки.

Технические характеристики (типовые для компонентов данной серии)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Артикул | TKB2162 | | Категория | Запасная часть / компонент установки | | Совместимость с процессами | CVD / PECVD / Etch / Clean | | Материал | Зависит от типа (нерж. сталь, керамика, PTFE) | | Рабочая температура | до 200–400 °C (в зависимости от применения) | | Рабочее давление | от вакуума до нескольких Торр | | Класс чистоты | Cleanroom / Semiconductor grade | | Страна производства | Япония |

Парт-номера (Part Numbers)

Компоненты TEL часто имеют несколько эквивалентных номеров:

• TKB2162 — основной артикул
• TKB-2162 — вариант написания
• TKB2162-XX — модификации с суффиксами (-01, -02 и т.д.)
• Эквиваленты могут иметь маркировку TEL P/N или OEM P/N у сторонних поставщиков

Точный список cross-reference номеров зависит от конкретного компонента. Универсального каталога в открытом доступе нет.

Совместимые модели

TKB-серия компонентов чаще всего применяется в установках:

• TEL Tactras (платформа для etch/CVD)
• TEL Telius (CVD/ALD)
• TEL UNITY (устаревшая платформа)
• TEL Clean Track (Act/Coater/Developer серии)
• TEL Alpha / Mark серии (трековые установки)

Конкретная совместимость зависит от модификации компонента и версии установки.

Рекомендации

1. Уточните применимость через сервисный центр TEL или авторизованного дистрибьютора.
2. Запросите datasheet по номеру TKB2162 — в открытых источниках он обычно не публикуется.
3. Проверьте ревизию компонента: суффиксы в парт-номере критичны для совместимости.

Если вы уточните, что именно за компонент (тип узла — клапан, датчик, нагреватель и т.д.) и для какой установки, смогу дать более точное описание и подобрать аналоги/pn.