Tokyo Electron TOB1105

Описание

Tokyo Electron TOB1105 — это прецизионный нагревательный модуль (heater block / hot plate assembly), применяемый в оборудовании плазмохимического осаждения и травления компании Tokyo Electron (TEL). Узел относится к термическим компонентам реакторной камеры и обеспечивает равномерный нагрев подложки ( wafer ) до заданных температур в процессах CVD, PVD, RIE и других операциях полупроводникового производства.

Конструктивно TOB1105 представляет собой керамический или металлокерамический нагревательный элемент с встроенными термопарами и каналами для охлаждения/подвода газов, интегрируемый в электростатический патрон (ESC) или pedestal. Обеспечивает высокую однородность температуры по площади пластины (обычно ±1–2 %), что критично для воспроизводимости технологических процессов на 200/300 мм пластинах.

⚠️ Примечание: TOB — внутренний парт-номер/обозначение узла TEL. Полные даташиты и точные электрические параметры доступны только через сервисную документацию TEL и авторизованных поставщиков запчастей. Публично раскрываемая информация ограничена.

Технические характеристики (типовые для класса)

| Параметр | Значение | |---|---| | Тип узла | Нагревательный модуль / hot plate для реакторной камеры | | Назначение | Нагрев подложки (wafer) в процессах CVD/etch | | Диапазон рабочих температур | ~200–600 °C (зависит от конфигурации) | | Однородность температуры | ±1–2 % по площади | | Материал нагревателя | Керамика / металлокерамика (AlN, Al₂O₃) | | Интегрированные датчики | Термопары (TC), возможен RTD | | Совместимые пластины | 200 мм / 300 мм | | Охлаждение | Встроенные каналы (He/вода) — в зависимости от версии | | Крепление | Интеграция в ESC / pedestal | | Интерфейс управления | Через контроллер TEL (не самостоятельный) |

Парт-номера (возможные обозначения)

Единого публичного каталога нет, встречаются обозначения вида:

• TOB1105 — базовый парт-номер узла
• TOB1105-01 / -02 / -03 — ревизии/модификации (по конфигурации)
• TOB1105-xx (с суффиксом) — версии под конкретную камеру/платформу

Точный парт-номер конкретного изделия указан на шильдике узла и в BOM сервисного мануала TEL. Рекомендуется сверять по серийному номеру установки.

Совместимые модели (платформы TEL)

Узел относится к нагревательным компонентам камер следующих семейств TEL (типовые платформы, где применяются подобные модули):

• Telius (CCP/ICP etch)
• Tactras (etch)
• INDY / Trias (CVD/PVD)
• Alpha / MARK серии (в зависимости от конфигурации)
• Отдельные модули Clean Track (для термообработки — реже)

⚠️ Совместимость зависит от конкретной модели установки, года выпуска и конфигурации камеры. Перед заказом обязательно подтверждение по service manual / у TEL или авторизованного дистрибьютора запчастей.

Рекомендация: для точных паспортных данных (напряжение, мощность, сопротивление нагревателя, тип термопар, допуски) обратитесь в сервисную службу Tokyo Electron или к поставщику refurbished-запчастей с указанием серийного номера установки — публичных даташитов на TOB1105 в открытом доступе нет.