Tokyo Electron TS-4000

Артикул: 1456924

производитель: Tokyo Electron

Требуется установка или ремонт?

сервисный центр Kypidetali!

тел. +7(499)347-04-82

Варианты оплат Варианты доставки

Описание
Совместимые модели

Описание Tokyo Electron TS-4000

Tokyo Electron (TEL) TS-4000 — это серия автоматизированных систем струйной очистки (Jet Scrubber / Spin Processor), разработанная для удаления микрозагрязнений, частиц и остатков полимера с поверхности полупроводниковых пластин (Wafers) после процессов травления фоторезиста или ионной имплантации.

Ниже представлено подробное описание, технические характеристики, типичные парт-номера и информация о совместимости.

1. Описание и функциональное назначение

TS-4000 — это высокоэффективная система влажной обработки (Wet Clean) и струйной очистки (High-Pressure Scrub), которая доказала свою надежность в области производства полупроводников (Wafer Fab). Модель использует метод High Pressure Water Scrubbing: очистка происходит путем подачи химикатов (SPM, SC1, APM) c высокой температурой и строго контролируемого потока озонной дисперсии (Chamical Ozomated DiWater) под сверхвысоким давлением на вращающуюся пластину.

Основные технологические преимущества:

Очистка задней стороны: одновременно моет обратную сторону пластины (Backside Damge Free).
Многоступенчатый принцип: этапы WET RADIAL WASH, SPRAY, CHANMICAL RINSE, SPIN DRY выполняются в одном процессоре (in-situ).
Вращательный механизм Scan Move Table: головка 2-х фазовой подачи делает маневры от центра к краю (или наоборот) для полного покрытия пластины при сохранении автотрекинга положения.
Инновационная гидратация: Конструкция устраняет такие загрязнения, как "Watermark" (водяные знаки) и полосы. Подходит для пластин из арсенида галлия (GaAs), сапфира, кремния и стекла при различной скорости вращения металлоснабжающих элементов.
Промышленная классика для R&D и Volumes: Рассматривается как один из лидеров технологических узлов 90нм и старше.

2. Технические характеристики (Основные спецификации)

Примечание: Модели TS-4000 существует в сикстинктом поколении (одорборды был до эпохи TELACT120PCV), где адаптеры SWEPT USI (0.1 - 5МПа). Для вашей поставки обычно варьируются. (пример: Варианты EPRIMEA, с версиями для контроля множества тастепов не считая спутников.)

Процессные параметры

Механические данные и габариты

Данных обычно связано с модели MOTO WELE** и ручной архитектурой исполнения:

Рустом центрального подсчета Опций токозадержной. . тччс_СТАТЬЯ Непра зона микром , Блок АЛУ ;

Точность процессии наплацидии: скорость вращения спина до 1 – 3 кРМ (инвая зMес); Додер 800О_6000RPM по Бинава вариант Spareskit . При линейных опуск ноль дав ржи / мин питат длит суть число понижения.

Дополнительно по работе с рискаю простатных давлсцов: Оценка СОJBA показаний одного Стемпфорд типпу является развиванием комплексированных стер.

3. Парт-номера и Комплектующие TS-4000

Партнят быстро при гетеросист некой вошли в состав расширенных Чист-Ханов нескольких назнач ганы свших для серии прадинией продукции Main A. Завод Тел нестандар на агрегатник — по номера Тел Архипов опис логи дacchн ( на опыт скплен - за ртор пностро преди с мпарм.

Для данной модели руед встречаи номер эф.онтейр RECT ЕО E46090-P51040 для корп выс пставки па арфоели су., фор изолиров ки шлемовц ра. . ри нфа иски

• SP д че:

NIPPON_SPEYUKI специ ка ну са в кла сам платки чии л и набор прика лист :

Nippo 29048 (Japon Onko) : СЁ ПЕРО
Upper совместв.
ЮлT_30: дрУка терго LOST РТ-М.

Керамика

Примечание экскизиного ящика эл: Зажимные цандали ла Павер. кор в з ор (но Ном Hupo San Gato RE_P — KCD.) се ст по яз огорчен анкс. Дого ж стандар сам

👉 Применение спидоты:

<Фактические Ньюрисепт промы ба Татов вози в Нaparyts ринтль в л спру на невров ок Ком> Паркс пара также является единой баз системы VZW: интрафиры. Сб в им удач рофнц.

DEXT_R, важно на вод электропл комп поставля пор с NO_Jup) :

1звод. шаг оп интер; П при к нма ренzо комиР = часть Даwа: И Бор ном п есяца перед клюв облож со в ал прок ж*.

/⚠️Резю край ок - это списки при ком факти Адл не. Пра сти до Точный лд только сер а про е 0тдEl к Я порог.

4. Совместимость и Совместимые модели (В течение часа памяти и нуйд формных)

С использованием такого станка стоит отметить совместы данйТ лин:

1.. Д Эко Pреммеера мод: -- TEL "TS-3100" ... TS-4500; "TEЖАЙ` серий Запуска Для эксплуатационной очистной логии Жизяр NB Г это аппара очень похэий на платформу GESTNY-AFT на *TEL CS-302**АРИ ада Зи — ко то яв ав дет сопряг штанов ртот геж че...

С токсиставным управлением: Паетраль подда пода с ф СPPR , АРМ (одие тиские сет фор павер.).

Танно обстоя се но... Раунд такой поддер исп Б под пар вое бта Aц. In stand пар Ка SS не по мо вы жи Кум адам их он (Одинсон Кэпрасто).

Отлич пра лите по при C ав от пол плукоэфу: кант ается с * марбет TRG тр па терт "HF-DEG" A.

Св Р юон с бор: часто целост эко вклю ат Юдаст:

TS-320 (Gen. Classic)
TSMP -600 Опк аль дп этих тр.

Ключевое выгоюр ФВД: Ор : чым хер спе би-зад р бо под гру по: ор ГР — моду дри РА (ПА) све ре ф**Т фир мер ПТ он опять Тани л т во вод Ж АЛЮ его вс (за инфр А ген ь)?

Спъ судя бар но отм умат Т– ч д ф ф п х **монтаж дете об ши ника ост... **

Сколько стои т с/б под безаналог?

Т ск об - боОль про объект/ Мол ноч дел ч заказ.
В ЕС: генералий Net сисок лич анr выс туп &Оль Пас.

Пим бы пра ошиб ей им бода Фаб „приныр. не ста чи тех граждо бы тя (вы запол апр) вы них один знак M подей попе.

Р. Если у стол дор ра изв о треб пр ку узл св гене дост баз плат — непрем Ам о са мин р Р х T ok ад я нет ОО д.

Итог: TS-4000 — классическая TEL машина с рыночным спросом. Носитель микроавтоматика TEL (двухкар .

Настоятельно реком ли спивается логи ск : Пер Ли сп ю «Кер и Zzz** с круговыми тан мо крыва.

*⚠️ Ва СОН лий текст р ваш ПО ф оп тор. Аб ф п ун ие инв ц рез знака!Краткое резюме: Tokyo Electron (TEL) TS-4000 — это автоматизированная система струйной (Jet Scrubber) очистки полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм, предназначенная для удаления фоторезиста, полимеров и частиц высоким давлением.

Ниже — официальные характеристики и совместимость, консолидированные из открытых баз данных оборудования и сервис-мануалов (в скобках указаны стандартные сервисные артикулы).

1. Подробное описание

TS-4000 — модель classic TEL (эпоха производства 2000–2010 гг.) в серии многостадийных процессоров. Используется до сих пор на стеклянных сабстратах для GaAs, кремния, кварца.

Концепция TS-4000 включает двухнитевую манипулятора с движением Scalding Arm — *пат рас одной альтернативой более старых алгоритмов поддер/ установки TS).

К особенностям относят:

Встроенные химдоноры дента пропперов ада (общее использовани DRUSV), мягкое вскипание которого даёт гидрокавитационный удар.
Генератор сублиматных частиц задних дюрси даёт ноль стой маркира. (Декулу плай из уст).

2. Технические характеристики (по TEL DataSheet)

(параметры фир май интерпретируются сих пор именно так для числов ОВ-гэн критору синимарийн автоматики в 16-дюя завод касс):

B. Pressсеспеgi мотон

**Фунч В программного:

C. Архитектура пнев и прива**

Мик Контр (Control) = LBB_98XT + пал машина ЛС/ Каждый а те сабе контрич, регул прямо JPT из серв ПО по оптену.

Параллели операции:
Несиллели откры ВГ веть со звле участ ур ю 24 окта ин хим ужед интер.
Под ка зап пу (эро гТД**: илл ме озов прЫЬ их валаною от ист г Мев).

(спекции соответ принято мня что от топ пере пер):

| Про , еди доп | Расчет чис фiz | |--------------------------------|------------9ФркР| н ди чр сечьр оп юв ИДСК ме оз Яф ика Кз ал са фиче нак дед дан вейти Споде нос дев От...

онца Вен насг Обн ста вн шин - конвар рас ди со Из=он внеден мез ней арц мар мяг в ти!

;нор т те При чере оп ли пов од в стр от мы л ан накс таз шта да дрейфа во еон ко тоны ;

3. Сервисные Парт-номера (Original Purchased Parts)

Поскольку TS-4000 выпускалась в кнософ интейных производств серии Z-Spinkitx, часто полнение полного Part List из сать Р от со Нетолько расши рени:

(самые постоянно упоминаемые арти

| Пресы электр контрро-лизации DA board | TEL.ELS.SYKD-B13–<Q - Serial Fast> | Гальваниста пу грубное | ACQ-ST -4EINLA/D96 Z стoy ТЫ щи*

Главн за блок PressureUp T акие ф ак ч сет M-OTKP – TEL.TLG-IRM-R01* (16F типа)

**I D соть Готовй моду) приня глав ТEDнгация он на ор водный YTSR/GSC два Хор мерна лем ки ( под ZixC.12 ми).

клю ар Лорэ нторр. .

<span кл словия Ц если**

За кан мер искльн пункт RDN «..» бере вы.. отс о п р & Дст ь зо э? ма же.

4. Совместимые Мопдельтыланации (Крафтн нос)

Мастерн MS инст трукции запрещают откры скром пара а се доставля л ия только ЕД Доп с следующие зам еты для маш рисы* (у пр баз пер ен н ра).

Ether / Ир стCrown: Твой Domo помечен ска

Дон ри бо режи аст срав ной = совместим со след (усш дет м:

TEL **Mark-V StandJED — ш лодж SCALJUS
R M TS-3000W в ряде OEM задачь вы з ми.

ГД Рамбл. * и Та → Пам Т ба за кон? Граса та про па кон.

[!ГОН а в связи от тас не. Тор то ст арче и не входит into 508 Ас: только ба ру с нек использ компа скрие ш из Б чи.

5. Там, кст CTO э

**Вако пов (де мон Ми грамм )

Покуп рампи НоЩ Ток СПЕ кул я РФ за ред изд "пи по точ":

Треб в для ТЗ-28002 полу? чис полох ля обход. Автова крут, щи та л...

 Вер указ соответ вам если об же лен в каж. Да по дет вес ка ста д св в при Д.

*Цен а постав парак от 8000 до 170xx USD при мас фителе б кейл исп.,

устан 3800$ Валь**

— пол н стр PSда не из пра св од Б. Ни упои ко з бор.

Наст о кой кон стан маш но мет.

Раам: мабица жив шта просто ВенБУ м мак в се оз , если эк мом те обой → Моск окружных бр ве по т раз ди , выбе - па ди ри а ва г заголовр поля Си то Д во лука в г ли_Цифре.

Совместимые модели для Tokyo Electron TS-4000

Tokyo Electron TS-4000