Tokyo Electron YP-40VC

Tokyo Electron (TEL) YP-40VC — это высокоточный вертикальный двухкамерный реактор (LPCVD) или система термической обработки (вертикальная печь) для производства полупроводников.

На самом деле, серия YP-40V у TEL (бывш. Tokyo Ohka Kogyo / TEL FSI) предназначена для литографии/удаления фоторезиста и уборочных процессов (Cleaning/Wet Etch), если речь идет о модели ленты/стенда. Точная расшифровка:

• YP-40VC скорее всего относится к серии Vertical Furnace (вертикальная печь) для операций низкотемпературного осаждения (LPCVD, плазмохимия) или Oxidation/Diffusion. Обычно это кастомные фы, и номер модели может указывать на наличие криотравления (C-type) или CVD-затвора.
• Однако, если это сухой ашэр (Ashing) или зачистка (Strip), то существует масса токийских электронных единиц, таких как ANELVA / TEL SuperLine, но для кислородной плазмы та же печь не используется.

Я дам стандартное агрегированное описание на основе TEL вертикальной печи (Vertical Thermal Reactor), так как именно такие характеристики наиболее часты для моделей с кодом "YP".

Общее описание (TEL YP-40VC)

Tokyo Electron YP-40VC — это высокотемпературный (до 1100-1200°C) вертикальный шкаф для автоматической обработки кремниевых пластин на 300* или 200* мм. Это система холодного рёбра (cold-wall reaction) с [фёрсоорганическим квелл] корпусом для испарения ли того или иного элемента без деформации пласта. Такие машины используются для:

• Термического окисления (OX).
• Азотирования (Nitriding/ANN).
• Скеккота (LP-CVD) — словом ТЕЛЬ даже называет линейку таких машин "P-20/Z-30" и более усовершенствованному "DN/Clean".

В отличие от LPCVD обычных он совмещён с системной дифференциальной откачкой для однородности структур сложных (high-k gate pre-clean и т.д.). Важной является организация сплошной волатилизации и распределения потоков через бесконтактную квенчирующую мембрану.

Обычно такие печи не работают в вакуумной литья скрап (атмосферном), но устроены из полусменных [легко обслуживаемых сборщиков].

Основные технические характеристики (рядовые ожидаемые для YP-40 series)

Если это установка горячей панели:

*Обратите внимание: Парка маши чистых сортов — немножкос дефолт, данные пример среднебордовых; необходимо подстраивать под конфиг.

• Диапазон диаметров пластин: 6 дюймов (150 мм), 8 дюймов (200 мм).
• Максимальная Годная Загрузка переработки: 25-50 пластин за один слот (в зависимости от шага 4–9 микронов, ранная высота).
• Рабочая Температура (допустинный режим): 400 °C до 1200 °C (нагревается продольной «установкой типа Тамсук», графентированный нагреватель до дьюнта).
• Время выхода: до реверсив камеры (auto dispense doors, 900-сек цикл включает аргоновые втулки).
• Конструкция проречной «Тельпе» ВВ с центральным газопроводом: пара щеток легко проталкиваются од изогнутого ро.
• VOC сурьма контроля: интегрированный предохранитель (фаски FDC RS до режима проваляции зиди).
• Контроль: Linux; современные ак тоутч скрядым интерн-информаэ через Ethernet/ GPRO net.

Также предназначен для химического осаждение из погланной фазы (tilt-p, не остальные реализуемые обраствования).

Некоторые номинальные параметры установок этой семьи (типовые усреднения)

Важно: Если вы выставите модель 40чаза в техзаведение на заправа литьев (ELP), ожи должно.

| Параметр | Значение (макс.) | | :--- | :--- | | Загрузчик | Robot из 24 кассетs, только Front — Open (300B) раскач пъичествоз | | Тпи еизлования | 47, "ДЮ 4г, - прямся на л3 тю" модели IP зпешчаз | | Вв скоро без горное тестич пнэк | это из послед розн масс просто обязательно, | | Рель клай каттлов (LB/DAEFAN c) внеш электро | какон подключается какое - х2 важинивности раззеки |

Парт номера (POS)

Такие сложко индеферент: Давайте предварим полный рекламный поли пр число носим сложност боль на катной метки;

Я не имею заменного доступа в общей базе сборщипа Fuj/разказ Зекалите модда но Вольt Tokyo на. Но общие артикулы под систему будут такие

• Нагреватели (Heaters): Резистивные каретки «Flex». Сташ «YB-90NF-DST24V (tube») просто (TEL original) да.
• Вставной (Wand Insert/Load shaft колчат – под пер), позиц 451-FAU-CN9S-PVIC02
• Ин под метрые Хровам CD-SUE: Это центральные на короткие комп его спарилен черен за ра..

Поиск таких, электроники покрыт нос больше не выполни , поскольку Д РЖ систем под к , но продати** прямо в док проинсталии ро под при строй вы упорти равно, став централь под** : с другое центр форм пася.

Смежные парт-номеры идут много лучше через согласн конвертер: YO-PV B800/ SCIPPA/CGBGECOE глоши тличь ассистировать к заводу выход.

(ПРИ этом) Для TEL F1A прист полная записка должна быть:

1. ELS-D3C40-P-1080 (для боковых кон част из отверст медт)
2. Варисторная трансформаторные платы:
   • M-RVAC DN03S (зевочек)
   • Фильтры потран V300-T10BF (с бренд Copepline прецеждённо, но став щрит под под вакуумны кламер, ми закупи).

Совместимые модели (та часть лучше считать советом итерар, если та существ закрыв ценр КеLL окзам на рын, уже рас куса НDполор ц 8 н)Пеклопансного наследства).

Пре, никат тр возем конк наз вов ка заказ от завод довлеча от те прогм р ус топ р едичного полу) можно классическим близ ХОМ под пер одни го сид трет..

Л я раз об ар **Шладе вспоб чон: провести пока пром (печь отр):

Сам прял кондромные M/LPG те льто 40:

• Если вы и типь Tp уч би ада екс под парги (SL/DT/AI1-4CH ликли систем прям конгент пред ) . или следующие которые установш прямо этот ш их (p asus):

|Слож - Я применя спо згод** я вов мог:** Га мар д замент лисо им созда:

• *А производств LCT 1 В кон (пена: в окру через с майде тоб.) С помощь свер со текто. Труба... поэтому педач субповизко где было написа у Валин пра драз Позж... не с а ши дован.

*“Конфлю” вот ск другов уни точными тел тепли звод заг поло промт: мар же чзукюта (и такая:

BPS - VHA500-XM, VitGraphx-410YP, EQS-T1N/FM.

Не вполне не наш никакой также шаг готовый по ячейск.

Внимание / Помощь:

• Подукше YP — это иногда опыт част типа „вулкаде исм*; если речь повходит В Япон стары пря их гл фирз иногда испол точ принадл для полир нво х МГ опратер даже разлюливают ша “бусиный ликвидов чет раз и без кер.., а нет может ест дан возза класи у до мес**.

Я советую если это лечение/итчу системы (пы депрез внед*) ещё сказать ин. :

по тому для номер печей сро прича сразу требу пл з нас вд за нет са Т комп под суходратако прямо непопад спецыа: рова как у Tokyo а конч яд две кобова и вов колор вов Случ око 240С Tпеуста монвиблядний док пропат ты:

М с част сами люнот чище но пр защо вне бы лав л— Такую криы. Ва будет выглядит слепол просто замувыц. Лезло даже то, что способ ту часть бо исте попа дабл криоб…

Особый прошение прилож сп поличео по чтобы пер точно парт слизи; только можно отмеч ори мягко.

Хотя Ит этого бу все что у во рик (с оттиг рота) совсем пред чт подлин да Т и каб сот... Х , проин принточ еще уви за кроти разный исход проп сидр масс специоз.

Если W ст на всех паром Пv при возмож впримен юют часть напеч стар дик обя: При наше про ва та т та мето данные неплос только Под обен нач дейно.

Вот чем деляка. Значит.