Agilent/Keysight 71600-90000 — Описание и характеристики

⚠️ Важное уточнение по номеру

Номер 71600-90000 — это не парт-номер отдельного прибора, а номер документа (руководства/справочника) из системы нумерации Agilent/Keysight. Формат XXXXX-90000 традиционно обозначает Manual / User's Guide / Programming Guide для семейства продуктов, где первые цифры — код продукта.

В частности, 71600-90000 относится к документации по системе позиционирования и измерения на основе лазерного интерферометра Agilent 10700A / 10700-60000 серии — точнее, это руководство по Agilent 10700A Laser Position Transducer System и связанных компонентов (10700A, 10701A, 10702A, 10706A/B, 10707A и др.).

Если вам нужен именно парт-номер прибора, стоит уточнить: вероятно, имелся в виду один из компонентов семейства 10700 (лазерная головка, интерферометр, приёмник) либо сам номер 71600-90000 — это "Agilent 10700A Laser Position Transducer System — User's Manual".

Описание системы (по документации 71600-90000)

Данное руководство описывает лазерную интерферометрическую систему позиционирования Agilent (ранее HP) серии 10700, предназначенную для:

• Высокоточного измерения линейных перемещений (разрешение до ~0,6 нм и ниже в зависимости от конфигурации)
• Обратной связи по положению для прецизионных столов, литографических установок, координатно-измерительных машин
• Калибровки станков и измерительных систем
• Измерения прямолинейности, углов поворота, плоскостности (с соответствующими оптическими компонентами)

Система строется по модульному принципу: лазерная головка → интерферометр(ы) → приёмник(и) → электроника обработки (10715A, 10716A, 10885A и т.п.).

Технические характеристики (типовые для семейства 10700)

| Параметр | Значение | |---|---| | Тип | Гетеродинная лазерная интерферометрическая система (HeNe, 632,8 нм) | | Разрешение | от 0,6 нм (зависит от электроники и конфигурации) | | Точность | ±0,5 ppm (в вакууме) / ±1 ppm (в воздухе, с компенсацией) | | Диапазон измерения | до нескольких метров (зависит от оптики) | | Макс. скорость | до ~1 м/с (зависит от приёмника/электроники) | | Выход | квадратурный (A/B), RS-422, аналоговый | | Питание лазера | +15 В / -15 В / +5 В (типовое для 10700A) | | Интерфейсы электроники | IEEE-488 (GPIB), RS-232, параллельный | | Рабочая температура | 15…30 °C (типовая) | | Стабильность частоты лазера | ~±2·10⁻⁸ |

Точные значения зависят от конкретной конфигурации (головка 10700A/10702A, приёмник 10780A/B/C/D/E/F, электроника 10715A/10716A/10885A и т.д.). В руководстве 71600-90000 приведены таблицы для каждой комбинации.

Парт-номера компонентов семейства 10700 (основные)

Лазерные головки и источники:

• 10700A — лазерная головка (HeNe, двухчастотная)
• 10702A — лазерная головка (улучшенная)
• 10706A / 10706B — интерферометры (линейные)
• 10707A — интерферометр прямолинейности
• 10715A — плата интерфейса (счётчик/декодер)
• 10716A — электроника обработки
• 10717A — модуль компенсации параметров воздуха
• 10780A/B/C/D/E/F — фотоприёмники (receiver)
• 10885A — плата сопряжения
• 10751A / 10752A — кабели и аксессуары
• 10753A — поворотное зеркало / оптика
• 10754A — уголковый отражатель (retroreflector)

Документация:

• 71600-90000 — User's Manual для системы 10700A (данный документ)
• 10700-90010, 10700-90020 и др. — сервисные руководства и programming guide

⚠️ Парт-номера следует проверять по актуальному каталогу Keysight — линейка 10700 снята с производства (legacy), поддержка ограничена.

Совместимые модели (оборудование, с которым работает система 10700)

Система 10700 совместима и исторически использовалась с:

• Прецизионные позиционеры и столы Agilent/Newport, Aerotech, PI (Physik Instrumente)
• Координатно-измерительные машины (CMM) — Leitz, Zeiss (через интерфейс счётчика)
• Литографические и полупроводниковые установки (stepper/scanner) — ASML, Canon, Nikon (как метрологический эталон)
• Электроника счёта: Agilent 53131A / 53132A (частотомеры, режим интерферометра), E1709A, 10885A
• Системы сбора: Agilent 34970A / 34972A (через GPIB), VXI/ PXI-модули счёта
• Контроллеры: HP 9000, ПК с GPIB-картой (82350A/B), современные через NI GPIB-USB-HS
• Компенсаторы воздуха: 10717A, внешние датчики температуры/влажности/давления

Система не является автономным прибором — она работает только в связке с электроникой счёта и контроллером.

Рекомендации

1. Если вам нужен именно прибор — уточните, какой компонент 10700 вас интересует (головка, интерферометр, приёмник).
2. Документ 71600-90000 доступен в архиве Keysight (legacy manuals) — ищите по запросу «Agilent 10700A Laser Position Transducer System User's Manual 71600-90000».
3. Линейка снята с производства; для новых проектов Keysight предлагает решения на базе 5530 Dynamic Calibrator или N7570A (лазерные калибраторы).

Если вы имели в виду другой прибор с похожим номером (например, 8163A/8164A оптические измерители или источники 8168), дайте знать — уточню описание.