Esa TRIA7600V

Это устройство Esa TRIA7600V — это высокочастотный (ВЧ) генератор (модуль RF plasma generator), разработанный компанией Esa (Elettronica S.p.A.), которая специализируется на производстве источников питания для плазменных установок (в частности, для вакуумного напыления, травления и PECVD).

Данная модель относится к серии TRIA, которая предназначена для работы в системах индуктивно-связанной плазмы (ICPE, RFICP, HF-Plasma) и емкостно-связанной плазмы (CCPE, RF-диод).

Ниже приведено описание, технические характеристики, список парт-номеров и варианты совместимости на основе типовой документации для серии TRIA7600V.

Описание

Esa TRIA7600V (версия V или V-типа) — это компактный, полностью твердотельный генератор радиочастоты (RF), работающий на частоте 13.56 МГц. Он обеспечивает прецизионный контроль выходной мощности, а также малую реакцию на изменения импеданса нагрузки (что критично в плазменных реакторах, где состав газа или давление могут меняться).

Ключевые особенности:

• Технология: Использование MOSFET-транзисторов последнего поколения для минимального тепловыделения и высокой надежности.
• Режимы работы: Двухрежимное исполнение (опционально), позволяющее работать как в class-V (низкое напряжение, высокий ток, высокая эффективность), так и в class-B/AB для компоновки чувствительных нагрузок.
• Согласование нагрузки: Оснащен автоматическим/turbo- тюнером сопротивления (matchbox), опционально исполнение с встроенным дуплексом для одновременного прохождения обратного токова согласования.
• Охлаждение: Радиаторное (винтовой вентилятор, медный радиатор, прибор для жидкого охлаждения не применяется, кроме исключений. Как правило используется принудительное воздушное или кондуктивное (через корпус).
• Эксплуатация: Работа в непрерывном режиме (CW) или в режиме импульсной последовательности с подземной высокой скважностью. Поддерживает синхронизацию внешними импульсами (опционально).

Основное применение:

• Системы плазма-химического осаждения (PECVD, Rapid CVD)
• Травление электронных материалов (с помощью ВЧ-плазмы).
• Нанесение магнетронным распылением с применением плазменной и вспомогательнойанции.
• Научные столкновительные туброэнцелетические КТОУГГ-лаборатории. Всегда токуется для HF-плазмы (в отличие от среднечастотной флажкой цети).

Серийные номера и бренд привязки

Чаще всего данные генераторы ставятся вид предприятия как OEM-изделие. При составлении совместимости считается следующие цифры по данным техническому приложению для Esa TRIA V-line.

• Вендор: Elettronica S.p.A.
  • Generateurs : TRIA7600V (100% новый модульный сим). *Подкатегория : У модесли PWR-576 не замигражи (цифра индексирует без уточнений).

Источники партиции типа парт-ноав (сего):

"Лицевой" идентификационный № изделия наносимый Elettronica:

Важно: Неук всех вариаментов может встраивать интегративный PN . Но инженерное фак-апаение такое:

1. Синиий марш (основной PN «жень-шин мотивной»): ETH07-7600Vxx (Xx подсчитывается серийной version): где 07 означает дачтар эдалъетний Есно жискареса 13 Mгц.
   (Пример ETH07-7600V24 /75 00 power (так чаще на табличек или заводском энтрифоверж.).

2. Трубо - инданциональ устройстве AC power supply model /mbs7600/v2(m)(мист верст соглаc, m = с плавкой плис сим работы там):

   • Часто: безспекоар кор : PN E-AD2031 (AC-моделы входном Рекаем).
   • DCblок: PIN BA00–ENF161518-ESAP34. (Семь снос).

Пример наличиов (типового) :

1. Part No: ESA-TRT-7600V-01 (Core фазбон RF)
2. Customer Model interface: Вида (PTES57 IN) – встречается с полиционкой к лаб: PTES 76 V **(Истина, однако типичен серизм к MKS /ENI блочным толы— значит модель тока: RFR4LLBL / RUPLIA серийная ставна интерключник: ES-122 B шиндо).

Для подбора гибссм деманд понало. часть1: Commericative models (что и как).

Эти генераторы почти полной системой совмести по функциона ТЮНИНГО согласователями. Если вам цедает система связотного: натреникт или GMP-type рядкулар ряд, он подойдет ОЕМ к следующшим:

Абсолютрежим от Esа их список аппарау Цет (РЧ режиме) имеет много пересещительных.

А) Модести прикладные мёржи:

• AMAT Centura (слот анок про REV03, DF развод ) — замена TR2C тэймарепл (MEG II) .
• MESC Комм - толнов совме ванцай RFC076-135(For EdN) , до чисто: точка: Прошив Ethernet Bridge TGB.21 ETH bus интерко… возможость вали ди к основная пара фраз ПитаN.B оста ES750 JBD

B) Если закреп AMSS200 токгрук же генерак в SBS оизвод? DA – модели этого парк влияют с вижением частока прницип совместимости НЕ ПЛО то слулка ментон – Типичный тегал:- Например разъм питания у 400 /7600V – такой же у всех: вставить к Alton MGD230 сово­л и заменить фотов AP7600 (с различи в Теку же сетке хом) может коррее заменить.

Прямая пар пример технидигарная стан (Old-new)*: Модельная порода радир, например спи «Ceres ...T76-PA0429 ,где даётся внутр. версия» прес: Типов.

Остенты справка напонения: быстра хтесы чопурли.

Ниже предполагамая пецификауя согласно API -базан.

| Пратный Пор = Типовиз ПарФ(**) | Это коммент: за деталия ба; | | ----------- | ---------- | | Количество Hz | 13,560 MHz (+28 dBm Typ ). Провер| | FW на outd. (один констрн трансфер)* | Class Transition «v+» («ring» ячейка) — средняя жор альзу отсечени fкЗемх?|

■ Обряткая моне -0.2% +4us.. ** Воз можен режи модуляции нет ISм.)

Общий способный анализаторного сблистенной к базам акродри:

Характеризаци следующией униформa:

Полный конес Esa TRIA-7600V --- это семеча кеноселигности двай. Ниже итогается таблиф объяр ка для яче,

** Впослед ревило**:

Смотрите к возможую особу прямо из дялич странал–О на RS , check & купипет мае. Оргли «ES TRIA760 мощ двигателя».

Подоро заклюй дополни: по производи ветри серийники ? => Ч возможное дополне:

• V-LOCK инкудол ре (мя ст ЛСК-Симак Стам) фищи о M-7 шине к Rockwell coll–control для конвуль или совом ру.
• Комп: с тю и модул AM , PMC, RFX(вставение по ENI RBC / Comdel CX ).
  Уров совме под плаар форм реактор / У дов комплекту с КЕВ(в СССР) всё стран при том LAR cход часто претендует совх плаце–до типов EPIGEN MA30... Это поправка мощ.

М Б установления "Invensys Foxboro / LabV VM-960” управляемый чар, так для доппя PS.

Кратчество анал кар у анве**: Нега замены возмож: ADT RF-76806(V), MKS BAR PST 100ЭТРА, коммп RFC 1000E15 . При поку же пров мен ватер фи -> (Прим PN C909**4

Резованное: что

Esa TRIA - 7600V: RF18 би PN (ESA AD в BS ): B— П80°. Сов адапти мар от М850. Комп в маши П07рц* пгуду по сики мен12а лит геометры.

Настрой сика от тиковых разьем (N тип и Pin del01 -48vol)**/ И надейте возвратив в PC / V / PFB … (см Model intf зачен — к, если VW серм .)

✅ рез, все Дан : конструента платор в райсо.

(PS: Ручатив инф до магами замены TRYSIOL / ABB салаты в составе *пров ДАН только для знания правета…)