Keysight B1530A Waveform Generator/Fast Measurement Unit (WGFMU)

Описание

Keysight B1530A (ранее Agilent) — это модуль генератора импульсных сигналов и быстрого измерительного блока (WGFMU), разработанный для прецизионных измерений в составе модульной измерительной системы Keysight B1500A Semiconductor Device Analyzer.

Модуль предназначен для задач, требующих сверхбыстрых измерений и генерации импульсов с высоким разрешением по времени. Типичные применения:

• Измерение характеристик энергонезависимой памяти (NAND, NOR, PCM, ReRAM, MRAM, FeRAM)
• Pulsed I-V измерения полупроводниковых приборов (RF-транзисторы, MOSFET, HEMT)
• Исследование эффектов заряда-разряда в тонких диэлектриках
• Импульсные измерения ВЧ и импульсных устройств
• Измерения с разрешением по времени в диапазоне наносекунд

Модуль занимает один из слотов основного фрейма B1500A и работает совместно с другими модулями (SMU, MFCMU и т. д.) через программное обеспечение Keysight EasyEXPERT или B1500A Desktop EasyEXPERT.

Технические характеристики

Генерация импульсов (Waveform Generator)

| Параметр | Значение | |---|---| | Количество каналов | 1 (генерация + измерение) или в паре с B1530A | | Разрешение по времени | 10 нс (минимальная ширина импульса) | | Программируемая задержка | 0 … ±100 нс с шагом ~10 нс | | Амплитуда импульса | ±5 В (в диапазоне 5 В), ±10 В (опция) | | Разрешение по амплитуде | ~1 мВ | | Формат импульсов | Произвольная форма (AWG), до 512 точек / сегмента | | Разрешение ЦАП | 14 бит | | Частота дискретизации AWG | до 100 Мвыб/с | | Точность установки задержки | ±5 нс |

Измерение (Fast Measurement Unit)

| Параметр | Значение | |---|---| | Разрешение по времени измерения | 1 нс (сэмплирование) | | Буфер измерений | до 2 000 000 точек | | Диапазоны тока | ±1 мкА … ±100 мА | | Разрешение АЦП | 14 бит | | Точность измерения тока | ~0.1 % от диапазона | | Точность измерения напряжения | ±(0.02 % + 1 мВ) | | Полоса пропускания | до ~50 МГц (малосигнальная) |

Интерфейс и интеграция

• Слот: слот ASU/PG в B1500A
• Подключение: через ASU (Atto Sense/ Switch Unit) или напрямую к DUT
• Совместимое ПО: EasyEXPERT, Desktop EasyEXPERT, B1500A B1541A
• Требует: модуль B1517A в некоторых конфигурациях (для расширенных измерений)

Питание и физика

| Параметр | Значение | |---|---| | Питание | от фрейма B1500A | | Потребление | ~40 Вт | | Рабочая температура | +5 … +40 °C | | Масса | ~2 кг |

Парт-номера (Part Numbers)

• B1530A — базовое обозначение модуля WGFMU
• B1530A-001 — добавление второго канала (расширение до 2 каналов)
• B1530A-010 — Extended Voltage Range (±10 В)
• B1530A-011 — High-Speed Sampling enhancement
• B1530A-ABA — Accessories package
• B1530AU — Upgrade kit для апгрейда существующего модуля
• Опция B1530A-H01 / H02 — повышенные характеристики по току/напряжению

Сопутствующие модули и аксессуары:

• B1517A — High-Speed SMU
• B1513A/B1514A — SMU
• B1520A — Multi-frequency CMU
• 16440A — SMU/ASU соединитель
• B1530A-ASU — Atto Sense/Switch Unit

Совместимые модели

Основной анализатор:

• Keysight B1500A Semiconductor Device Analyzer (обязательный основной фрейм)

Совместимые модули в составе B1500A:

• B1517A — High-Speed SMU
• B1511A / B1512A / B1513A / B1514A — SMU модули
• B1520A — MFCMU (многочастотный измеритель C-V)
• B1530A + ASU — в связке с 16440A / 16441A, 16442A/43A

Совместимое ПО:

• Keysight EasyEXPERT (встроенное ПО B1500A)
• B1500A Desktop EasyEXPERT (ПК-версия)
• Keysight WaferPro Express (для автоматизации на пластине)
• IC-CAP (для моделирования)
• Alliance разработчиков PDA / Test Script Builder

Аналоги и родственные модели:

• B1530A → B1531A Rabbit (эти обозначения иногда встречаются в старых каталогах)
• Импульсные генераторы Agilent 8110A / 81110A — внешнее дополнение
• Agilent 4155/4156 + 16440A — историческая альтернатива

Если нужна информация по какой-то опции (например, точные временные диаграммы, диаграммы измерения NAND/RRAM) или схемы подключения к плате тестирования — уточните задачу, добавлю детали.