Bronkhorst 30sccm

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики, парт-номера и совместимые модели для массового расходомера/контроллера Bronkhorst EL-FLOW Select серии F-201CV/F-202CV (наиболее популярная модель для расхода 30 sccm азота).

Краткое описание

Bronkhorst EL-FLOW Select – это высокоточный цифровой термический массовый расходомер (индикатор) или расходомер/контроллер (регулятор) для газов. Модель на 30 sccm (кубических сантиметров в минуту) предназначена для точного измерения и управления очень малыми потоками газа в лабораторных условиях, исследовательских установках, полупроводниковой промышленности, аналитическом приборостроении и т.д.

Ключевые особенности:

• Высокая точность и воспроизводимость: Обеспечивает стабильность процессов.
• Широкий диапазон измерений (турнировер): Например, 1:1000, что позволяет измерять как минимальные, так и номинальные потоки.
• Цифровое управление: Коммуникация по аналоговому сигналу (0-5/10 В, 4-20 мА) и цифровым интерфейсам (RS232, DeviceNet, PROFIBUS DP, EtherCAT, PROFINET, Modbus RTU/TCP).
• Компактный и легкий дизайн: Благодаря технологии CTA (Capacitive Thermal Anemometry) без дополнительных датчиков давления и температуры.
• Калибровка под конкретный газ: Поставляется откалиброванным для выбранного газа (N₂, Ar, He, O₂, H₂, CO₂ и др.).

Технические характеристики (типовые для модели на 30 sccm N₂)

• Модель: EL-FLOW Select F-201CV (индикатор) или F-202CV (контроллер).
• Номинальный расход (Full Scale): 30 sccm (млн/мин) для азота (N₂). Для других газов значение FS будет отличаться.
• Диапазон регулирования (для контроллера): От 0,1% до 100% от FS.
• Точность (при калибровке): ±0,5% от показаний (RD) плюс ±0,1% от FS.
• Воспроизводимость: Лучше ±0,1% от FS.
• Время отклика (T90): < 1,5 секунды.
• Турнировер (диапазон измерений): Минимальный измеряемый поток обычно 0,5-1% от FS (например, 0,15-0,3 sccm).
• Принцип измерения: Термический (тепловая анемометрия).
• Интерфейсы управления:
  • Аналоговый: Вход/выход 0-5 В, 0-10 В, 4-20 мА.
  • Цифровые (опционально): RS232, DeviceNet, PROFIBUS DP, EtherCAT, PROFINET, Modbus RTU/TCP.
• Рабочее давление:
  • Максимальное давление: 40 бар (4000 кПа).
  • Давление питания (для контроллера): До 10 бар.
• Соединения: Стандартные наружные резьбы 1/16", 1/8" или 1/4" VCR/Cajon (Swagelok).
• Материалы контактных частей: Нержавеющая сталь (316L), Hastelloy C22, герметизация золотыми уплотнительными кольцами.
• Питание: 24 В постоянного тока (±10%) или 15-24 В постоянного тока в зависимости от версии.
• Рабочая температура: От 0°C до +50°C.
• Защита (IP-рейтинг): IP40 (защита от касания пальцами).

Парт-номера (артикулы Bronkhorst)

Полный артикул формируется из кода базовой модели и множества опций. Базовый пример для контроллера:

F-202CV-AAD-33-V + [опции]

• F-202CV: Контроллер массового расхода, версия "V" (с улучшенной стабильностью нуля).
• AAD: Номинальный расход 30 sccm (для N₂).
• 33: Питание 24 В DC, аналоговый интерфейс (0-5 В / 0-10 В).
• V: Соединения 1/8" VCR (Female) с золотыми уплотнениями.

Другие возможные коды для 30 sccm:

• Расход: AAD = 30 sccm N₂.
• Интерфейс (примеры):
  • 33 = 24В, 0-5/10В
  • 44 = 24В, 4-20 мА
  • D7 = RS232
  • P1 = PROFIBUS DP
  • MN = Modbus RTU
  • MT = Modbus TCP
• Соединения:
  • V = 1/8" VCR (F)
  • K = 1/8" компрессионные (Swagelok)
  • Q = 1/16" VCR (F)

Пример полного артикула для заказа: F-202CV-AAD-33-V-999 (где 999 может быть кодом калибровочного газа, отличного от N₂).

Совместимые модели и аналоги

1. Внутри линейки Bronkhorst:

• EL-FLOW Prestige (F-112CV): Более новая, усовершенствованная серия с цветным дисплеем, улучшенной точностью (±0,4% RD) и встроенным датчиком давления. Прямой наследник Select.
• mini CORI-FLOW (M13): Кориолисовый расходомер для газов и жидкостей. Для задач, где важна прямая массовая измерение независимо от свойств газа, или для агрессивных газов.
• IN-FLOW (F-106CI): Низкообъемный дозирующий клапан для импульсной подачи и дозирования.
• Серия Low dp-FLOW: Для очень низких перепадов давления.

2. Аналоги от других производителей:

• Sierra Instruments: Серия SmartTrak (например, SmartTrak 2) – цифровые массовые контроллеры газа.
• MKS Instruments: Серия GE50A / GES50A (аналог Alicat) или Mass-Flo (M100B/M200B).
• Alicat Scientific: Серия MC/PC (MC-30SCCM) – популярные контроллеры с большим ЖК-дисплеем и быстрым откликом.
• Horiba (Stec): Серия SEC-400/440 – точные контроллеры для полупроводниковой индустрии.
• Brooks Instrument: Серия GF (GF-120) или SLA/SLF.
• TOKYO KEISO (TOFLOW): Модели MK/FK.

Важно: При замене одной модели на другую необходимо учитывать не только номинальный расход, но и:

• Калибровочный газ.
• Тип и диапазон входных/выходных сигналов.
• Рабочее давление.
• Тип соединений.
• Габаритные размеры и способ монтажа.

Для точного подбора модели и артикула рекомендуется обращаться к официальным дистрибьюторам Bronkhorst или использовать конфигуратор на сайте производителя.